3月12日，由湖南南方搏云新材料有限責(zé)任公司和中南大學(xué)共同完成的“碳纖維增強(qiáng)碳基體復(fù)合材料及硅晶體生長(zhǎng)爐熱場(chǎng)研制與開(kāi)發(fā)”項(xiàng)目在長(zhǎng)沙通過(guò)了湖南省科技廳組織的科技成果鑒定。
專家認(rèn)為，該成果根據(jù)硅晶體生長(zhǎng)爐熱場(chǎng)系統(tǒng)零件的功能，成功設(shè)計(jì)了低密度、高中密度、密度梯度三類碳/碳復(fù)合材料，產(chǎn)品種類齊全。材料的主要性能參數(shù)符合制造硅晶體生長(zhǎng)爐熱場(chǎng)系統(tǒng)要求，促進(jìn)我國(guó)高端半導(dǎo)體生產(chǎn)所需的熱場(chǎng)材料跨上了一個(gè)新的臺(tái)階。并且系統(tǒng)地開(kāi)發(fā)了擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的碳纖維增強(qiáng)碳基體材料生產(chǎn)工藝，有效保證了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。在國(guó)內(nèi)的硅晶體熱場(chǎng)系統(tǒng)中，首次成套地采用碳/碳復(fù)合材料，擁有硅晶體生長(zhǎng)爐熱場(chǎng)材料制品、制備工藝和成套設(shè)備的核心技術(shù)，產(chǎn)品填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，總體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
目前，項(xiàng)目承擔(dān)單位已自主研發(fā)了直徑達(dá)到1520mm的國(guó)內(nèi)最大的整體式碳/碳復(fù)合材料加熱器和碳/碳固化保溫件，具有使用可靠、操作方便、運(yùn)營(yíng)經(jīng)濟(jì)、節(jié)能環(huán)保、減少電網(wǎng)污染等一系列優(yōu)點(diǎn)，能夠有效地提高硅晶體生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)能耗。項(xiàng)目孵化期年產(chǎn)值已達(dá)2330萬(wàn)元，用戶反映良好，具有廣闊的市場(chǎng)前景和產(chǎn)業(yè)化基礎(chǔ)。
