杜邦高性能彈性體（DuPont Performance Elastomers (DPE)）與來自德州奧斯汀的Spansion公司合作以評估一種專門用于提高半導(dǎo)體制造設(shè)備無故障運(yùn)行時(shí)間的全氟彈性體產(chǎn)品-O形環(huán)。其令人震驚的產(chǎn)品性能促使Spansion公司對其預(yù)防性設(shè)備維護(hù)（PM）進(jìn)度表作出變化，從而提高產(chǎn)量并降低制造成本。
目前在Fab 25生產(chǎn)線上運(yùn)行的HDPCVD設(shè)備生產(chǎn)中所遇到的問題是工藝氣體（SiH4, O2, He）和清潔化學(xué)品（NF3 和O2兩步等離子處理）兩者所造成的腐蝕性加工環(huán)境。來自密封腐蝕和壓縮形變的高粒子數(shù)和滲漏將會造成在IMD和STI工藝中出現(xiàn)密封故障。設(shè)備維護(hù)進(jìn)度表的周期為90天但是密封故障往往在30至60天內(nèi)發(fā)生。因此O形環(huán)的性能與機(jī)械性和等離子腐蝕的化學(xué)攻擊密切相關(guān)。
Spansion公司轉(zhuǎn)向杜邦高性能彈性體公司以尋求更多的材料選擇從而提高產(chǎn)品的密封時(shí)間以及產(chǎn)生較少的粒子。創(chuàng)新的填料和交聯(lián)結(jié)構(gòu)對解決此問題的適用技術(shù)至關(guān)重要。在參照了規(guī)格書和測試結(jié)果之后對產(chǎn)品進(jìn)行了改性，并將制造的Kalrez® 9100部件與其它競爭產(chǎn)品進(jìn)行比較。結(jié)果表明Kalrez® 9100在任何條件下均比所有競爭產(chǎn)品更加優(yōu)異。正如Spansion公司所進(jìn)行的擴(kuò)展評估測試所表明的一樣，所得到的產(chǎn)品表現(xiàn)出了較低的密封腐蝕，產(chǎn)生較少的粒子以及較好的彈性回復(fù)特性。其關(guān)鍵部件的壽命得到了大幅度延長。
