儀器儀表
微系統(tǒng)所自主成功研制出THz量子級(jí)聯(lián)激光器
2009-5-20 來(lái)源:上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
關(guān)鍵詞：量子級(jí)聯(lián)激光器
2009-5-20 來(lái)源:上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
關(guān)鍵詞：量子級(jí)聯(lián)激光器
近日，由上海微系統(tǒng)所信息功能材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室曹俊誠(chéng)研究員負(fù)責(zé)的太赫茲（THz）課題組自主成功研制了激射頻率為3.2 THz的量子級(jí)聯(lián)激光器（QCL）。該器件的整個(gè)研制過(guò)程，包括有源區(qū)材料生長(zhǎng)、器件流片工藝以及光電特性測(cè)試等均在微系統(tǒng)所完成，為發(fā)展相關(guān)THz應(yīng)用系統(tǒng)奠定了基礎(chǔ)。
THzQCL具有體積小、輕便、易集成、能量轉(zhuǎn)換效率高，并且可在連續(xù)波模式下工作等優(yōu)點(diǎn)。它是一種具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體量子器件。課題組采用V90氣態(tài)源分子束外延設(shè)備生長(zhǎng)了基于GaAs/AlGaAs材料體系的THzQCL有源區(qū)；采用單面金屬波導(dǎo)工藝制備并封裝了THzQCL器件；采用遠(yuǎn)紅外傅里葉變換光譜儀測(cè)試了器件的發(fā)射譜，激射頻率為3.2 THz。
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（子妍）
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