儀器儀表
2010年年末開始，中國科學(xué)院微電子研究所2011年儀器設(shè)備采購項目啟動，至今已采購儀器8批，采購金額約560萬美元，折合人民幣約為3600余萬。以下是采購清單詳情：
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包號 |
儀器名稱 |
臺數(shù) |
價格 |
中標(biāo)公司 |
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招標(biāo)編號：OITC-G11032168 招標(biāo)日期：2011.7.1 | ||||
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1 |
電子束曝光機 |
1 |
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招標(biāo)中 |
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招標(biāo)編號：OITC-G11032126 招標(biāo)日期：2011.5.24 | ||||
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1 |
全定制版圖設(shè)計系統(tǒng)及混合信號IC設(shè)計平臺 |
1 |
10萬美元 |
北京微通益友電子科技有限公司 |
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2 |
光譜橢偏儀 |
1 |
14.39萬美元 |
HORIBA JOBIN YVON SAS |
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招標(biāo)編號：OITC-G11032111 招標(biāo)日期：2011.5.5 | ||||
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1 |
膜厚儀 |
1 |
9.5萬美元 |
HORIBA JOBIN YVON S.A.S |
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2 |
光刻膠涂覆機 |
1 |
15.1萬美元 |
Pico Track |
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3 |
噪聲分析儀 |
1 |
28.369萬美元 |
天地華宇（香港）國際貿(mào)易有限公司 |
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4 |
信號發(fā)生器 |
1 | ||
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頻譜分析儀 |
1 | ||
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招標(biāo)編號：OITC-G11032080 招標(biāo)日期：2011.4.12 | ||||
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1 |
尾氣處理系統(tǒng) |
4 |
30.7萬美元 |
埃地沃茲貿(mào)易（上海）有限公司 |
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2 |
特種氣體柜 |
1 |
13.65萬美元 |
上海正帆半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
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3 |
激光鉆孔機 |
1 |
42萬美元 |
美國ESI公司 |
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4 |
二次元影像量測儀 |
1 |
13.57萬美元 |
北京新卓儀器有限公司 |
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誤碼儀 |
1 |
28萬美元 |
百盛通公司 |
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微探針臺 |
1 |
11.3425萬美元 |
美國奧泰公司 |
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招標(biāo)編號：OITC-G11032058 招標(biāo)日期：2011.3.23 | ||||
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1 |
金屬柵濺射臺 |
1 |
116.6萬美元 |
INFOVION 株式會社 |
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2 |
真空干泵 |
30 |
34.5萬美元 |
埃地沃茲貿(mào)易（上海）有限公司 |
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3 |
介質(zhì)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)改造 |
1 |
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未知 |
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4 |
4寸化學(xué)機械拋光機 |
1 |
10.6萬美元 |
南京冉銳科技有限公司 |
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招標(biāo)編號：OITC-G11032057 招標(biāo)日期：2011.3.15 | ||||
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1 |
近場光學(xué)顯微鏡 |
1 |
23.83萬美元 |
上海納騰儀器有限公司 |
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2 |
激光共聚焦掃描顯微鏡 |
1 |
13.5萬美元 |
銳科系統(tǒng)集成有限公司 |
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招標(biāo)編號：OITC-G11032015 招標(biāo)日期：2011.1.7 | ||||
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1 |
半導(dǎo)體存儲性能測試探針臺系統(tǒng) |
1 |
24.719萬美元 |
Alltek Company USA, Inc |
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2 |
表面粗糙度儀 |
1 |
9.65萬美元 |
上海海江納米科技有限公司 |
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招標(biāo)編號： OITC-G11032006 招標(biāo)日期：2010.12.26 | ||||
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1 |
超高真空化學(xué)氣相沉積 |
1 |
—— |
廢標(biāo) |
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2 |
寬光譜橢偏儀 |
1 |
—— |
廢標(biāo) |
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3 |
系統(tǒng)級及納米級IC設(shè)計軟件平臺 |
1 |
100萬美金 |
奧肯思（北京）科技有限公司 |
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4 |
國產(chǎn)EDA工具 |
4 |
100萬人民幣 |
北京華大九天軟件有限公司 |
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（小徐）