中科院长春光机所在光学系l偏振像差理论研I中取得q展
2015-12-18 来源:中国聚合物网 点击?/span>
关键词：分L?/a> 偏振像差
中国U学院长春光学精密机C物理研究所应用光学国家重点实验室的黄玮Nl在光学pȝ偏振像差理论的研I中取得新进展：首次提出了一U能同时表征偏振像差在光学系l的光瞳与视Z分布规律的正交多式Q该多项式在偏振像差的测量与补偿斚w有很大潜在应用h(hun)倹{相关结果发表于q期的Optics ExpressQOpt. Express 23,21, 27911-27919, 2015, doi:10.1364/OE.23.027911Q?nbsp;
对于高数值孔径的光学pȝQ如光刻物镜和显微物镜，偏振照明成ؓ一U提高分辨率的方法。但偏振照明光束l光学系l后Q受偏振像差影响Q其偏振状态会发生改变Q进而媄响分辨率。已有的研究多集中于偏振像差在光学系l的光瞳处的分布规律Q很关注视场。但对偏振像差的量和补偿，需要在整个视场上进行。一般的Ҏ(gu)是选择多个L视场Ҏ(gu)q似整个视场Q精度由视场点个数决定。因此，揭示偏振像差在光学系l视Z的分布规律，对偏振像差的量和补偿研I具有重要h(hun)倹{?/span>
该研I将方向泽尼克多式与条UҎ(gu)克多项式相l合Q依据光学系l的旋{对称性，推导Zpd正交多项式，q将其命名ؓ视场-方向泽尼克多式QField-orientation Zernike polynomialsQFOZPQ。FOZP偏振像差的分布规律从光x展到了视场，更完整地表述了光学系l的偏振像差?/span>
该工作得C国家重大专项子课题基金的支持?nbsp;
文章链接
视场-方向泽尼克多式的视场分布图
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