inventor/creator：胡克苓, 馬正峰, 孫鑫, 蘇成坤, 孫金明
Paten number/application number：2024103940402
application/authorized announcemen date：2024-4-2
brief introduction：
本發(fā)明屬于光刻膠樹(shù)脂技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種無(wú)金屬殘留、窄分子量分布的聚苯乙烯衍生物光刻膠樹(shù)脂前體的制備方法及應(yīng)用。本發(fā)明采用有機(jī)催化的活性自由基聚合技術(shù)（Reversible Complexed Mediated Polymerization, RCMP），選擇特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的有機(jī)碘代物作為自由基引發(fā)劑，四丁基碘化銨作為有機(jī)催化劑，通過(guò)優(yōu)化聚合反應(yīng)條件制備得到一系列不同分子量范圍和分子量分布的光刻膠用樹(shù)脂前體聚苯乙烯衍生物，從源頭上避免了金屬離子和含硫變價(jià)基團(tuán)的殘留，制備工序簡(jiǎn)單，后續(xù)不需要提純除雜工藝可直接使用。