發(fā)明/申請(qǐng)人:孔令斌, 孫林林, 康龍.
專利號(hào)/申請(qǐng)?zhí)枺篫L200910021718.8
授權(quán)/申請(qǐng)日期:2012-11-7
用于超級(jí)電容器電極的多孔碳薄膜材料的制備方法,其步驟為:首先在750~800℃沉積溫度下在容器內(nèi)的沉積位置處放入基片;用真空泵將容器中的空氣抽出,使容器內(nèi)達(dá)到高真空,即1-7~10-8Pa的真空狀態(tài);向容器內(nèi)通入惰性保護(hù)氣體,用質(zhì)量流量計(jì)控制惰性保護(hù)氣體的流量為70~80mL/s;向容器內(nèi)通入還原氣體,用質(zhì)量流量計(jì)控制氣體流量為70~80mL/s;然后向容器內(nèi)通入烴類混合氣體,用質(zhì)量流量計(jì)控制氣體流量為50~80mL/s;將容器加熱,加熱到900~1000℃時(shí)進(jìn)行保溫,時(shí)間持續(xù)1~2小時(shí),混合烴類氣體的還原反應(yīng)使得基底上沉積出多孔碳,即得多孔碳薄膜材料。