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用于超級(jí)電容器電極的多孔碳薄膜材料的制備方法
發(fā)明/申請(qǐng)人:孔令斌, 孫林林, 康龍.
專利號(hào)/申請(qǐng)?zhí)枺篫L200910021718.8
授權(quán)/申請(qǐng)日期:2012-11-7
用于超級(jí)電容器電極的多孔碳薄膜材料的制備方法,其步驟為:首先在750800沉積溫度下在容器內(nèi)的沉積位置處放入基片;用真空泵將容器中的空氣抽出,使容器內(nèi)達(dá)到高真空,即1-710-8Pa的真空狀態(tài);向容器內(nèi)通入惰性保護(hù)氣體,用質(zhì)量流量計(jì)控制惰性保護(hù)氣體的流量為7080mL/s;向容器內(nèi)通入還原氣體,用質(zhì)量流量計(jì)控制氣體流量為7080mL/s;然后向容器內(nèi)通入烴類混合氣體,用質(zhì)量流量計(jì)控制氣體流量為5080mL/s;將容器加熱,加熱到9001000時(shí)進(jìn)行保溫,時(shí)間持續(xù)12小時(shí),混合烴類氣體的還原反應(yīng)使得基底上沉積出多孔碳,即得多孔碳薄膜材料。