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非制冷紅外探測器用BST薄膜的制備與性能研究 |
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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關(guān)鍵詞： |
BST薄膜 射頻濺射 低溫沉積 紅外探測器 |
| 資料大小： |
280K |
| 所屬學(xué)科： |
性能表征 |
| 來源： |
來源網(wǎng)絡(luò) |
| 簡介： |
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利用傳統(tǒng)陶瓷工藝制備出BST（65/35）倒筒靶，采用射頻濺射法沉積薄膜。開展了對Pt/Ti/SiO2/Si基底熱處理工藝與BST同質(zhì)緩沖層研究，總結(jié)出了可以確保基底界面性能良好、BST薄膜結(jié)構(gòu)致密的工藝方法。介電性能測試表明：BST薄膜的介電常數(shù)約為60~70，介電損耗為1.5%~2.5%，居里溫度為284K，介電溫度系數(shù)（TCD）為0.5%。漏電流測試表明：在1MV/cm電場下，漏電流密度為1.910-6A/cm2。 |
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| 上傳人： |
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| 上傳時間： |
2007-07-12 17:35:25 |
| 下載次數(shù)： |
577 |
| 消耗積分： |
2
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