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濺射沉積法制備金薄膜的結(jié)構(gòu)特性  
濺射沉積法制備金薄膜的結(jié)構(gòu)特性
資料類型： PDF文件
關(guān)鍵詞： 表面形貌  正常晶粒生長(zhǎng)  反常晶粒生長(zhǎng)  LSW理論模型  
資料大小： 241K
所屬學(xué)科： 結(jié)構(gòu)表征
來(lái)源： 來(lái)源網(wǎng)絡(luò)
簡(jiǎn)介：
在不同的生長(zhǎng)階段Au膜具有不同的表面微結(jié)構(gòu)。隨著厚度的增加，薄膜晶粒要經(jīng)歷成核、正常晶粒生長(zhǎng)和反常晶粒生長(zhǎng)過(guò)程，在不同的過(guò)程中Au膜呈現(xiàn)出不同的表面形貌。在正常晶粒生長(zhǎng)階段，薄膜晶粒呈柱狀生長(zhǎng)；隨后的反常晶粒生長(zhǎng)過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)晶粒吸收現(xiàn)象，使具有較優(yōu)取向的晶粒越長(zhǎng)越大。X射線衍射圖（XRD）顯示Au膜具有（111）面取向優(yōu)勢(shì)。利用LSW理論模型計(jì)算并解釋了晶粒反常生長(zhǎng)過(guò)程。
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上傳時(shí)間： 2007-07-06 14:58:41
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