我國國產(chǎn)的代表國際尖端水平的高亮度ＬＥＤ芯片生產(chǎn)關鍵設備ＭＯＣＶＤ（金屬有機化學氣相沉積設備）在正泰集團上海張江理想能源設備有限公司６日成功下線，打破了該領域長期被歐美企業(yè)壟斷的局面，國內(nèi)ＬＥＤ生產(chǎn)成本有望顯著下降。
�。停希茫郑氖歉吡炼龋蹋牛男酒a(chǎn)過程中最關鍵的設備，因設備技術難度高、開發(fā)周期長以及國內(nèi)產(chǎn)業(yè)化起步晚等原因，市場主要被歐美企業(yè)所壟斷。
近年來，隨著高亮度ＬＥＤ在戶外顯示、液晶面板背光、汽車應用等領域滲透率的不斷提高，特別是半導體照明市場的啟動，對量產(chǎn)型ＭＯＣＶＤ設備的需求呈現(xiàn)出爆發(fā)性的增長，全球年需求達數(shù)百臺、市場規(guī)模數(shù)十億美元。
我國ＬＥＤ外延芯片與封裝在規(guī)模和品質(zhì)上都取得了舉世矚目的成就，產(chǎn)品國產(chǎn)化比例顯著提升，但關鍵裝備特別是量產(chǎn)型ＭＯＣＶＤ仍然依靠進口，生產(chǎn)成本居高不下，嚴重制約著ＬＥＤ產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。因此開發(fā)出更高性價比的國產(chǎn)商業(yè)化ＭＯＣＶＤ設備是海峽兩岸ＬＥＤ外延芯片企業(yè)的迫切要求。
�。玻埃保澳辏乖�，理想能源啟動ＭＯＣＶＤ項目，在兩年時間里，理想能源技術團隊設計開發(fā)出了具有自主知識產(chǎn)權的ＭＯＣＶＤ設備，并完成了第一代單腔體獨立設備和高產(chǎn)出率的簇式生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)組裝，成功地實現(xiàn)ＧａＮ基ＬＥＤ外延片的發(fā)光。
經(jīng)過設備原型機近１年的運行證明其性能達到預定指標，于２０１２年５月通過上海市科委的驗收。依據(jù)工藝驗證結果和客戶反饋，在第一代原型機的基礎上開發(fā)出第二代量產(chǎn)型ＭＯＣＶＤ設備，單腔一次可生產(chǎn)８４片２英寸外延片，超過主流進口設備。
量產(chǎn)機型在產(chǎn)出率、可靠性、運行經(jīng)濟性等方面都有了顯著的提升，最適合商業(yè)量產(chǎn)，該產(chǎn)品已申請２０項國內(nèi)外專利。