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鈣鈦礦型氧化物SrTiO3 /BaTiO3多層膜的 激光分子束外延生長研究  
鈣鈦礦型氧化物SrTiO3 /BaTiO3多層膜的 激光分子束外延生長研究
資料類型： PDF文件
關(guān)鍵詞： 激光分子束外延  SrTiO3/BaTiO3  多層膜  反射式高能電子衍射  原子力顯微鏡  
資料大?。?/td> 155K
所屬學(xué)科： 分子表征
來源： 2004年第五屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議（9.12-9.16，北京.秦皇島）
簡介：
用激光分子束外延技術(shù)在SrTiO3（001）襯底上外延生長SrTiO3/BaTiO3多層膜，通過反射式高能電子衍射（RHEED）原位實時監(jiān)測并結(jié)合原子力顯微鏡（AFM），研究了不同基片溫度下所生長薄膜的表面平整度，利用X射線衍射（XRD）對外延薄膜進行了結(jié)構(gòu)分析，結(jié)果表明薄膜具有二維生長模式，在基片溫度為380~470℃之間生長的薄膜具有原子級光滑，并且具有完全C軸取向。同時運用X射線光電子能譜（XPS）研究了薄膜界面的互擴散,結(jié)果表明降低制備薄膜時的基片溫度有利于減少互擴散。
作者： 姚海軍 李燕 羅佳慧 姜斌 鄧宏 蔣書文
上傳時間： 2007-07-09 15:15:44
下載次數(shù)： 617
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