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PECVD法制備微晶硅薄膜的研究  
PECVD法制備微晶硅薄膜的研究
資料類型: PDF文件
關(guān)鍵詞: 太陽(yáng)電池  微晶硅  電導(dǎo)率  光學(xué)帶隙  
資料大小: 85K
所屬學(xué)科: 分子表征
來(lái)源: 2004年第五屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議(9.12-9.16,北京.秦皇島)
簡(jiǎn)介:
對(duì)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)(PECVD)制備的微晶硅(μc-Si)薄膜的電導(dǎo)率、光學(xué)帶隙和晶化率隨溫度和功率的變化規(guī)律進(jìn)行了研究。從拉曼譜中可以明顯看出,隨著功率的增大,N型材料的非晶肩逐漸減小,材料的晶化率增大。隨著溫度的升高,P型材料的暗電導(dǎo)率和激活能都是先升高后降低。
作者: 蔡宏琨 郝延明 張德賢 林列
上傳時(shí)間: 2007-07-11 16:23:00
下載次數(shù): 633
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chengyuecool    2010-10-24 15:23:35
z這就是我要用的,只是內(nèi)容有點(diǎn)少
你還沒(méi)有登錄,無(wú)法發(fā)表評(píng)論,請(qǐng)首先 登錄 注冊(cè)
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