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資料類型: |
PDF文件
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關(guān)鍵詞: |
太陽(yáng)電池 微晶硅 電導(dǎo)率 光學(xué)帶隙 |
資料大小: |
85K |
所屬學(xué)科: |
分子表征 |
來(lái)源: |
2004年第五屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議(9.12-9.16,北京.秦皇島) |
簡(jiǎn)介: |
對(duì)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)(PECVD)制備的微晶硅(μc-Si)薄膜的電導(dǎo)率、光學(xué)帶隙和晶化率隨溫度和功率的變化規(guī)律進(jìn)行了研究。從拉曼譜中可以明顯看出,隨著功率的增大,N型材料的非晶肩逐漸減小,材料的晶化率增大。隨著溫度的升高,P型材料的暗電導(dǎo)率和激活能都是先升高后降低。 |
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作者: |
蔡宏琨 郝延明 張德賢 林列
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上傳時(shí)間: |
2007-07-11 16:23:00 |
下載次數(shù): |
633 |
消耗積分: |
2
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立即下載: |
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