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乙醇對(duì)金剛石膜生長(zhǎng)特性的影響  
乙醇對(duì)金剛石膜生長(zhǎng)特性的影響
資料類型： PDF文件
關(guān)鍵詞： 乙醇  金剛石膜  生長(zhǎng)速率  刻蝕  
資料大小： 118K
所屬學(xué)科：
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簡(jiǎn)介：
采用EA-CVD(ElectronAssistedChemicalVaporDeposition)方法制備金剛石厚膜，在反應(yīng)氣體（CH4+H2）中添加乙醇，在保持其它條件不變的情況下研究了不同乙醇流量對(duì)金剛石膜生長(zhǎng)的影響。利用拉曼光譜和SEM等測(cè)試方法對(duì)金剛石膜進(jìn)行了表征，證實(shí)乙醇電離時(shí)產(chǎn)生的氫氧鍵對(duì)金剛石有很強(qiáng)的刻蝕作用。在沉積過程中向系統(tǒng)中加入乙醇對(duì)金剛石膜表面形貌有顯著的影響，適量的乙醇有利于提高膜品質(zhì)和生長(zhǎng)速率，但過量的乙醇會(huì)導(dǎo)致對(duì)金剛石表面的刻蝕加劇，使金剛石膜的生長(zhǎng)受到抑制。
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上傳時(shí)間： 2007-07-11 14:08:13
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