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氮?dú)饬髁繉?duì)金剛石膜生長(zhǎng)的影響研究  
氮?dú)饬髁繉?duì)金剛石膜生長(zhǎng)的影響研究
資料類型： PDF文件
關(guān)鍵詞： 金剛石膜  氮?dú)?/a>  生長(zhǎng)速率  表面形貌  膜品質(zhì)  EA-CVD方法  
資料大?。?/td> 126K
所屬學(xué)科：
來(lái)源： 來(lái)源網(wǎng)絡(luò)
簡(jiǎn)介：
采用電子輔助化學(xué)氣相沉積法(EA-CVD)制備摻氮金剛石薄膜，研究了不同氮?dú)饬髁繉?duì)金剛石膜的生長(zhǎng)速率、表面形貌和膜品質(zhì)的影響。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，在較低的氮?dú)饬髁肯拢饎偸さ纳L(zhǎng)速率增加，在較高的氮?dú)饬髁肯律L(zhǎng)速率減小。利用SEM、Raman光譜、XPS等測(cè)試手段對(duì)樣品的表面形貌及品質(zhì)進(jìn)行了表征。結(jié)果表明，當(dāng)?shù)獨(dú)饬髁繛?sccm時(shí)金剛石膜的結(jié)晶比較完整；當(dāng)?shù)獨(dú)饬髁繛?sccm時(shí)生成與(100)面共存的“菜花狀”。氮?dú)饬髁康倪M(jìn)一步增加，“菜花”表面(100)晶面顯露的數(shù)量明顯降低，非金剛石碳含量和氮雜質(zhì)含量增加，金剛石膜的品質(zhì)明顯下降。
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上傳時(shí)間： 2007-07-11 14:32:37
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