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清華航院張一慧副教授課題組在非常規(guī)可重構(gòu)三維細(xì)微觀結(jié)構(gòu)及微電子器件方面取得重要進(jìn)展
2018-02-01  來源:中國聚合物網(wǎng)

  1月29日,清華大學(xué)航天航空學(xué)院張一慧副教授課題組在《自然-材料》(Nature Materials)期刊以長(zhǎng)文形式發(fā)表了題為《基于多穩(wěn)態(tài)屈曲力學(xué)的可重構(gòu)三維細(xì)微觀結(jié)構(gòu)和微電子器件》(Morphable 3D mesostructures and microelectronic devices by multistable buckling mechanics)的研究論文,系統(tǒng)報(bào)道了一種利用彈性組裝平臺(tái)的變形路徑對(duì)三維細(xì)微觀結(jié)構(gòu)幾何拓?fù)溥M(jìn)行可逆調(diào)控的非線性屈曲力學(xué)新方法,進(jìn)而設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了自適應(yīng)射頻電路、可隱身微型天線等非常規(guī)可重構(gòu)器件。

  可重構(gòu)三維結(jié)構(gòu)在生醫(yī)器件、微機(jī)電系統(tǒng)、機(jī)器人和超材料等眾多領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用,對(duì)科學(xué)研究和技術(shù)進(jìn)步起到了關(guān)鍵的推動(dòng)作用。然而,現(xiàn)有的可重構(gòu)三維結(jié)構(gòu)的成形技術(shù)較為局限,在結(jié)構(gòu)尺度和材料類型這兩個(gè)關(guān)鍵問題上仍無法兼顧,主要體現(xiàn)在無法適用于微納米尺度或高性能電子材料,這在很大程度上限制了可重構(gòu)三維微電子器件的發(fā)展。

  張一慧副教授課題組和美國西北大學(xué)約翰·羅杰斯教授(John A. Rogers)、黃永剛教授(清華大學(xué)“千人計(jì)劃”專家)課題組合作,創(chuàng)建出一種基于多穩(wěn)態(tài)屈曲力學(xué)的可重構(gòu)三維結(jié)構(gòu)成形方法。該方法將二維薄膜圖案通過壓縮力的作用變形成目標(biāo)三維結(jié)構(gòu),并通過改變壓縮變形的路徑實(shí)現(xiàn)三維結(jié)構(gòu)在不同構(gòu)型之間的可逆切換。這一技術(shù)不但能應(yīng)用于多種特征尺度,而且與現(xiàn)代化微電子制備工藝相兼容,適用于導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體等各種材料類型甚至集成電路系統(tǒng)的構(gòu)建。

  在《自然材料》的論文中,該研究團(tuán)隊(duì)闡述了多穩(wěn)態(tài)屈曲力學(xué)方法的設(shè)計(jì)概念及三維可重構(gòu)的力學(xué)機(jī)理,并在此基礎(chǔ)上建立了一套系統(tǒng)的可重構(gòu)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)流程,通過二十多組不同結(jié)構(gòu)構(gòu)型的實(shí)驗(yàn)對(duì)這一重構(gòu)策略的可行性進(jìn)行了驗(yàn)證。根據(jù)該方法成形的可隱身微型天線,具有極大的通訊頻率范圍(6 GHz~30 GHz),并且可以實(shí)現(xiàn)工作和隱身兩種模式:在工作模式下,天線可以與外界進(jìn)行通訊;而在隱身模式下,天線由于電磁屏蔽效應(yīng),其通訊效率大大降低,因而很難被外界探測(cè)到。

圖1:兩種可重構(gòu)三維細(xì)微觀結(jié)構(gòu)的重構(gòu)過程(上圖展示了微型“章魚”與“蜘蛛”之間的可逆重構(gòu)過程;下圖展示了微型“房子”與“籃子”之間的可逆重構(gòu)過程)。圖案化的二維結(jié)構(gòu)經(jīng)歷雙向同時(shí)壓縮,變形為左側(cè)的“章魚”或“房子”型結(jié)構(gòu);經(jīng)歷分布?jí)嚎s,則變形為右側(cè)的“蜘蛛”或“籃子”型結(jié)構(gòu)。

圖2:六個(gè)可重構(gòu)三維細(xì)微觀結(jié)構(gòu)的結(jié)果。構(gòu)型I對(duì)應(yīng)基底雙向同時(shí)卸載時(shí)得到的組裝結(jié)果,構(gòu)型II對(duì)應(yīng)基底分布卸載時(shí)得到的組裝結(jié)果。前四個(gè)結(jié)構(gòu)的比例尺表示400微米,其余表示4毫米。

  清華大學(xué)航院張一慧副教授、美國西北大學(xué)約翰·羅杰斯教授和黃永剛教授為本文的共同通訊作者。清華大學(xué)航院博士后付浩然和美國伊利諾伊大學(xué)博士生南科望為本文的第一作者。清華大學(xué)為本文的第一完成單位。該研究成果得到了國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目、中組部青年千人計(jì)劃、科技部973計(jì)劃等項(xiàng)目的資助。

  論文鏈接:https://www.nature.com/articles/s41563-017-0011-3

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