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基片上薄膜生長(zhǎng)過程的計(jì)算機(jī)模擬  
基片上薄膜生長(zhǎng)過程的計(jì)算機(jī)模擬
資料類型： PDF文件
關(guān)鍵詞： 薄膜生長(zhǎng)  沉積  計(jì)算機(jī)模擬  
資料大?。?/td> 462K
所屬學(xué)科： 模擬技術(shù)
來源： 來源網(wǎng)絡(luò)
簡(jiǎn)介：
根據(jù)薄膜的成核統(tǒng)計(jì)理論，考慮吸附粒子的碰撞、遷移、蒸發(fā)等因素，針對(duì)薄膜單層和多層核生長(zhǎng)類型的生長(zhǎng)，用計(jì)算機(jī)進(jìn)行仿真模擬。同時(shí)研究了幾種因素對(duì)粒子沉積成膜的影響。根據(jù)計(jì)算機(jī)模擬情況，得出了粒子百分變化與成團(tuán)粒子百分變化關(guān)系、生長(zhǎng)過程對(duì)粒子沉積成膜的影響。論證了按成核理論下的隨機(jī)統(tǒng)計(jì)規(guī)律生成的多層粒子膜,其厚度方面的不均勻性與實(shí)際是一致的。并給出了計(jì)算機(jī)模擬研究薄膜微觀生長(zhǎng)過程的立體圖象。
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上傳時(shí)間： 2007-07-09 13:36:59
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biaofengdebiao    2011-06-23 20:52:04
好，謝謝分享，我先下載一份看看
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