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> 有機太陽能電池ITO 電極的光刻制備法及其研究
有機太陽能電池ITO 電極的光刻制備法及其研究
有機太陽能電池ITO 電極的光刻制備法及其研究
資料類型:
PDF文件
關(guān)鍵詞:
ito
電極
光刻
方塊電阻
資料大?。?/td>
280K
所屬學科:
分子表征
來源:
2007年第六屆中國功能材料及其應(yīng)用學術(shù)會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19,武漢)
簡介:
目前有機太陽能電池是光電行業(yè)研究的熱點之一。通常該器件以ITO為陽極,通過真空蒸鍍的方法制作。在對器件進行測試時,ITO電極的設(shè)計制作,有利于器件的保護。用光刻技術(shù)進行ITO電極的制作,可以得到非常精細的結(jié)果。重點闡述了利用光刻方法制作優(yōu)良ITO電極的注意點,包括表面清洗、曝光控制、顯影控制和腐蝕工藝,其中由于不同ITO玻璃的導電層厚度、各成分含量不同,所以腐蝕工藝的研究是重點中的重點。提供了對生成光刻ITO電極的質(zhì)量進行準確評價的一種簡便方法。
作者:
席曦,王振交,楊輝,喬琦,季靜佳,陸紅艷,李果華
上傳時間:
2008-08-06 13:02:24
下載次數(shù):
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相關(guān)評論
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goodlifan
2011-09-20 15:03:13
henhao
jcy20061986
2011-03-02 21:45:13
挺好的。參考一下
sw3552003
2009-12-02 13:09:05
yueduzhong
sw3552003
2009-12-02 12:46:30
正在閱讀中。
zjlbuaa
2009-06-26 8:43:25
很不錯的資料,很有參考價值
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