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藍(lán)寶石襯底化學(xué)機(jī)械拋光的機(jī)理研究  
藍(lán)寶石襯底化學(xué)機(jī)械拋光的機(jī)理研究
資料類(lèi)型： PDF文件
關(guān)鍵詞： 化學(xué)機(jī)械拋光  藍(lán)寶石襯底  機(jī)理  去除速率  動(dòng)力學(xué)過(guò)程  
資料大?。?/td> 347K
所屬學(xué)科： 分子表征
來(lái)源： 2007年第六屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議暨2007國(guó)際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)
簡(jiǎn)介：
利用磨料為SiO2的堿性拋光液對(duì)藍(lán)寶石襯底材料進(jìn)行了化學(xué)機(jī)械拋光，并對(duì)藍(lán)寶石襯底化學(xué)機(jī)械拋光（簡(jiǎn)稱CMP）的機(jī)理進(jìn)行了深入的研究，指出了藍(lán)寶石CMP的主要的動(dòng)力學(xué)過(guò)程，并詳細(xì)分析了影響各動(dòng)力學(xué)過(guò)程的諸要素。結(jié)果表明，藍(lán)寶石襯底的CMP過(guò)程是一個(gè)復(fù)雜的多相反應(yīng)過(guò)程，是化學(xué)作用與機(jī)械作用互相加強(qiáng)和促進(jìn)的過(guò)程，影響它的各要素間既相互促進(jìn)，又相互制約。
作者： 牛新環(huán)，劉玉嶺，檀柏梅，馬振國(guó)
上傳時(shí)間： 2008-05-16 15:12:30
下載次數(shù)： 88
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相關(guān)評(píng)論 共有4人發(fā)表評(píng)論 更多評(píng)論
houlei85    2013-05-30 10:01:58
小粒徑的磨料好嗎？
025zhu    2011-03-11 20:57:39
不是太具體其中沒(méi)有太多的技術(shù)參數(shù)
mpc2001    2008-12-08 11:08:49
還是不錯(cuò)的。
chenchaoxuguoxiu    2008-12-04 16:46:15
我想看看這個(gè)
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