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1-3 型壓電復(fù)合材料電極的制備

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關(guān)鍵詞：

磁控濺射電極導(dǎo)電性能附著力

資料大?。?/td>

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所屬學(xué)科：

分子表征

來源：

2007年第六屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議暨2007國(guó)際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)

簡(jiǎn)介：

采用磁控濺射工藝以Cu、Ag為靶材在1-3型壓電復(fù)合材料表面制備電極。研究了兩種金屬材料的濺射鍍膜工藝，系統(tǒng)地分析了濺射功率對(duì)金屬沉積速率、電極導(dǎo)電性能及附著力的影響。結(jié)果表明，兩種金屬的沉積速率隨濺射功率的增加呈線性增加，電極方阻及電阻率均隨功率增大而減小，濺射功率為100W時(shí)電極的附著力較好。

作者：

萬媛媛，李莉，王麗坤，秦雷，魏兵

上傳時(shí)間：

2008-09-01 11:41:32

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liuhsh 2009-02-05 17:33:13

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